二手 CALI-TECH CT-605D #9236280 待售

CALI-TECH CT-605D光敏設備是一種多功能設備，設計用於光敏材料的精確成像和去除。光致抗蝕劑是一種通過應用不同數量的光照從一種狀態轉移到另一種狀態的材料。該系統提供了精密曝光、開發和幹燥相結合的各步驟的精確控制。該單元提供全功能的高功率曝光單元,可實現卓越的成像性能。該機器采用掃描掩模對準電源物鏡,具有可變的放大倍率,可提供各種圖像場大小和可比的功能尺寸,可達0.12微米。曝光源利用波長為248 nm、持續功率為180 mw的準分子激光器,以傳統步進系統的一小部分成本提供卓越的成像性能。該單元還利用通信電纜支持使用多個曝光頭，以及各種塗層和開發室，以實現更大的通用性。該工具的模塊化使其成為各種應用程序的理想解決方案。它易於使用的軟件控制使得設置和調整不同光刻材料和工藝的參數變得簡單。資產還包括一個用於去除未曝光的光刻膠的幹燥室，並在光刻膠工藝的所有步驟中將I/O連接到其他設備。模型包括額外的功能，如自動調整掩碼和基板之間焦點的自動對焦設備，以及內置的錯誤檢測系統，可以在過程中自動提醒操作員錯誤。CT-605D光刻裝置是一種高度先進、用途廣泛、成本效益高的工具,可為所有光刻工序提供精確的控制和可靠的性能。