二手 CALI-TECH CT-608D #9151584 待售

CALI-TECH CT-608D光刻設備是一種先進的高性能蝕刻沈積工具,專為半導體行業的應用而設計。這是非常適合濺射和等離子體蝕刻過程，以及薄膜沈積和抵抗帶。該系統具有一個大腔室，它可以容納各種基板-直徑可達6英寸。其垂直設計便於進入室內，便於維護和處理的靈活性。該裝置利用先進的質量流控制器來調節工藝氣體，並確保精確控制。它還具有創新的等離子體發生器和匹配的網絡系統，以優化等離子體生成。CT-608D光刻機設計用於高性能的蝕刻和沈積過程。它配備了精密的光刻工具和控制器，可以準確地定義基板上的幾何形狀和尺寸。光刻工具可用於透光、曝光、紫外線（UV）輻射和曝光後烘烤，以及深層紫外線抵抗曝光。為確保最佳蝕刻均勻性,該工具使用專有的脈沖電源模塊（PPM）。這樣可以調節脈沖頻率、脈沖寬度和脈沖能量,從而獲得最佳結果。CALI-TECH CT-608D Photoresist Asset還包括一個掃描電子顯微鏡（SEM），可用於監測光刻膠圖樣的完整性和植入樣品表面的離子能量水平。CT-608D光刻膠模型提供了出色的工藝和冷卻能力。該設備采用動態噴霧冷卻（DSC），為基板的整個表面積提供均勻冷卻，同時保持滿意的溫度輪廓。它的冷卻功能允許快速的過程,最短的溫度穩定時間,從而提高吞吐量。該系統還包括熱輻射屏蔽，以及噪聲屏障，以減少低頻環境噪聲對工藝室的影響。為減少對環境的影響，該裝置采用空氣和氣體循環系統，安全地丟棄多余的材料。CALI-TECH CT-608D光刻機是半導體工業的一個非常強大的工具。其先進的工具特點可實現工藝靈活性和低環境影響，而其精密的光刻和脈沖功率技術則可實現高精度的蝕刻和沈積。利用CT-608D光刻資產，用戶可以用最少的時間和精力生產出可靠和高質量的基板。