二手 CALI-TECH CT-608D #9252347 待售

CALI-TECH CT-608D是為先進的基於UV的光刻加工而設計的光刻設備。該系統用於沈積和開發先進的薄膜材料，以創建功能尺寸較小的高性能電路和設備。CT-608D設計用於提供適合研究和工業應用的高分辨率光刻工藝。其核心組件包括曝光單元、開發機器、開發後處理工具以及晶圓處理的自動化資產。曝光模型由波長範圍為365nm至395nm的大幅面UV強烈發光二極管（LED）陣列組成。波長範圍允許在選擇光阻層時具有靈活性，並允許實施多重曝光技術。開發設備采用雙級高速濕式開發系統，能夠進行光阻開發，同時將光阻溫度保持在一定水平以下。這對於在溫度必須低於一定閾值才能避免對光阻造成損害的纖薄光阻工藝尤為重要。開發後單元由一個自旋沖洗幹燥模塊組成。用於在進一步加工前沖洗光刻膠並幹燥。自動晶圓處理機提供高度自動化的工作流程，一次最多可處理30個晶圓。它與先進的晶圓傳輸機器人完全兼容。CALI-TECH CT-608D的性能已在各種實驗室和工業環境中得到證明。它能夠處理最小特征尺寸為2微米的纖薄光阻層。它可靠高效，是先進光刻工業生產工藝的理想選擇。