二手 CALITECH CT-608D #293760256 待售

CALITECH CT-608D是一種最先進的光刻設備,可在各種基材（如矽、金屬合金和先進材料）上提供高度精確和可靠的抗蝕性圖樣。該系統采用最新、最先進的光刻膠切片、成像和開發技術專門設計，以減少顆粒汙染，提高光刻的分辨率和準確性。CT-608D在安裝在電動晶圓處理站上的8英寸晶圓盒中使用紫外線激光源。激光器用於將光刻膠圖樣精確地逐層切割到基板上，而計算機控制單元則可確保圖樣制作過程的準確性。此外,CALITECH CT-608D還配備了一臺獨特的前置對齊機,可在圖樣蝕刻到基板上之前將誤差降至最低。激光源還能夠提供從紫外線到紅外線的一系列波長，以支持不同材料的需求。該工具還可以檢測和補償基板中的任何非均勻性，以確保抗蝕劑線被精確繪制和成像。該資產配備了閉環配方控制成像模型，允許用戶精確控制曝光時間、激光功率設置和其他成像參數。這為用戶提供了將光刻工藝與他們的特定要求和基材類型相匹配的靈活性。該設備采用高分辨率相機和緊湊型光學器件，兩者的設計都是為了提高成像過程的分辨率和可重復性。此外,5軸復制器的設計目的是為精細細節提供額外的分辨率,並減少非銳度偽影。相機還配備了一個集成的自動化檢查系統，可以檢測任何圖案錯誤或碎片。CT-608D還有一個修補程序驅動程序單元，旨在減少可能導致線鍵錯位的模式分散。此外，該機器還包括一個內置的抗蝕劑開發工具，以便用戶無需外部資產即可輕松加載和清潔晶片。這一開發模型包括一個自動去薄能力，從基板表面去除殘留的抗蝕劑，這有助於改善納米加工。CALITECH CT-608D是一種功能強大、可靠、精確度很高的光刻設備,能夠持續為各種材料提供最高質量的光刻圖樣,並為用戶提供最苛刻的光刻工藝的自動化和精確成像工藝。