二手 CANON CDS-630 #9269121 待售

CANON CDS-630是為工業用途而設計的先進光刻設備。它結合了最新的現成成像技術和大師制造知識，提供先進的成像能力和準備用於工業應用的抵抗基板。該系統能夠處理各種底物類型，包括丙烯酸、聚酰亞胺、聚酯、環氧樹脂等等。CDS-630利用數字成像裝置產生所需的光刻膠圖樣或圖像。這包括一個高分辨率的線性可變色散光譜儀和一個光學偏振顯微鏡，用於產生基板的可見和紫外線圖像，以便進行精確的圖案化。成像機能夠產生各種尺寸的圖像,從英寸到微米,具體取決於基板和應用要求。為了沈積光致抗蝕劑，CANON CDS-630采用溶膠-凝膠溶液，該溶膠-凝膠溶液被分配到一個混合良好的容器中，然後通過一個細噴嘴將其註入垂直的線軸腔內。這保證了沈積在基質上的均勻性和圖樣均勻性。之後，將基板加熱到預設溫度，並施加真空，以除去可能存在的任何多余的抗蝕劑液體，並產生空氣清洗過程。光致抗蝕劑固化後，可以在烘烤後操作，以進一步增強圖像。這些包括輻照、洪水暴露和電鍍。此後，可以使用蝕刻和光合輔助工藝，以便進一步清潔和制備基板。各種實驗室儀器，如旋轉塗層、酸性蝕刻器和模具，也可用於人工加工。總體而言，CDS-630光刻工具是工業應用的可靠和能幹的成像和處理解決方案。其先進的成像和陣列處理能力使其成為生產具有高分辨率和均勻性的復雜陣列的理想選擇。此外，其廣泛的烘烤後操作提供了很大程度的靈活性和定制，允許為特定的應用適當準備各種基材類型。