二手 CANON CDS-630R+ #293796123 待售

CANON CDS 630R+是為滿足現代半導體生產需要而設計的先進光刻設備。該系統采用小巧、經濟高效的軟件包,提供卓越的性能和可靠性。CDS 630R+單元采用雙光源設計，采用100 W水銀燈和200W氮化​​氙（GaN）燈。這種組合產生紫外線和紅外輻射，用於精確抵抗發展。該機包括預熱階段，以確保一致的幹燥膜均勻性和可重復發展。刀具的溫度控制熱板確保施加在晶片上的抗蝕劑的精確均勻性。此外，CANON CDS 630R+資產還包括一個用於實時測量抗蝕劑性能的高分辨率掃描對光譜儀模型。這允許用戶監控光刻膠物理和化學性質的變化，以優化生產過程。該設備還利用先進的自動化過程控制（APC）軟件，對每批光刻膠的開發周期進行自動化和監測。APC軟件有助於減少錯誤並提高開發過程的一致性。這樣可以確保一致的質量和可重復性。該系統由微處理器控制，包括用於實時狀態監控的大型數字顯示器。可以將設備的所有參數編程到軟件中,允許用戶從單個控制界面監視整個生產工作流。該機還包括一個集成的脈沖發生器，以提高工藝精度和可重復性。CDS 630R+工具高度可靠，能夠滿足大多數半導體制造設施的生產需求。憑借其雙光源設計、先進的自動化能力和可靠的性能，CANON CDS 630R+光刻膠資產是大批量生產的不錯選擇。