二手 CANON CDS-630R+ #293796124 待售
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CANON CDS-630R+是為先進半導體封裝應用而設計的全自動光刻設備。它提供了業界最高的生產率、成本和質量水平。該系統由一個緊湊的模塊化平臺組成,用於光刻剝離、拋光和檢驗。用戶界面旨在方便地訪問所有特性和功能。該單元與智能自動化集成,最多可支持5種工藝工具。光刻機具有一個用於先進半導體工藝的單一平臺,包括帶材、拋光、檢驗和石墨沈積。它提供了一個高效的過程和較短的周期時間,最大傳輸速度為0.25米/秒。該工具還配備了先進的拋光功能,包括高達4.0m/min的拋光速度以及以可重復精度提供高精度拋光表面的能力。此外,該資產還提高了石墨沈積能力,沈積速度高達10m/min,並采用了創新的塗層技術,提高了表面光潔度,降低了整體加工成本。該模型還包括先進的過程控制傳感器,提供實時反饋和過程監控。集成的低維護設計使操作員能夠輕松快速地更改不同流程的配方。CDS-630R+還提供高級檢查功能,包括光學顯微鏡功能、共聚焦成像和自動缺陷分析。先進的光學檢查功能使操作員能夠檢查任何光刻膠層或產品零件中的缺陷或缺陷,從而為成品提供更高的產量結果和更好的質量結果。設備還包括可視化功能,例如產品拓撲和3 D CAD模型的自動線圖。總體而言,CANON CDS-630R+為先進的光刻膠和半導體封裝應用提供了一整套功能。它提供卓越的性能、改進的質量和成本效益,使其成為任何生產環境的理想解決方案。
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