二手 CANON CDS-650 #9111287 待售

CANON CDS-650是一種用於在半導體上形成薄膜圖樣的光敏設備。該系統具有優越的光學單元，能夠產生具有亞微米精度的高分辨率圖樣。該機采用了一種基於長波和短波UV燈獨特組合的新型光刻解決方案。CDS-650的最大基板尺寸為300 mmx300mm。該工具使用了一個CeASTAR-300的透鏡成像光度掩模對準器和一個1024 x 1024像素的CCD相機，具有10位動態範圍，以實現高精度對準光掩模。CANON CDS-650具有同軸LED驅動的定位頭,可提供亞微米精度的精確對準。CDS-650采用先進的CANON LEXT OLS 4000激光掃描共聚焦顯微鏡技術,提供出色的分辨率和模式保真度。資產可達到0.25微米的最小特征尺寸，意味著適合微電子應用。該模型的光敏溶液基於含有高分辨率成像所必需的高反應性光活性化合物（PAC）的試劑。這些PAC被吸附在基板表面，允許光刻膠快速且均勻的照射。CANON CDS-650利用這種獨特的工藝來形成分辨率令人印象深刻的薄膜圖案。該設備還具有一些旨在提高用戶安全的功能。一個自動晶片加載系統可以方便、安全地處理晶片。安全互鎖裝置可防止紫外線（UV）暴露在光刻劑處理區域之外。此外，這臺機器還配備了一個安全監視器，在紫外線暴露水平超出可接受範圍時提醒操作員。為了確保持續高質量的結果，CDS-650利用可編程快門在必要時拒絕紫外線暴露於晶片。這種快門也能最大限度地減少紫外線暴露水平。此外，該工具還包括一個內置的排氣設備和一個排氣控制模塊，以確保危險蒸汽安全排放。總體而言，CANON CDS-650是一種可靠的光阻模型，能夠以一流的分辨率和精度形成薄膜圖案。其優越的光學設備、基於試劑的光刻膠溶液以及用戶安全特性，使該系統成為要求苛刻的微電子應用的首選。