二手 CETC LXS-800 #9073945 待售

CETC LXS-800是一種高精度光刻設備,旨在支持用於研發、微芯片生產和其他行業的最先進的微加工工藝。它是一個全自動系統，設計用於流程穩定和統一，靈活運行標準和專門流程。它的特點包括一個大的晶片處理區域（最多8英寸）、一個均勻的曝光源、一個標線或重復曝光單元（即使是現場曝光和大面積模式曝光）的選擇以及用於缺陷檢查的機器視覺。LXS-800臺光刻機由高度集成的刀具控制平臺提供動力,包括主機計算機、資產級別體系結構和用於監視和控制光刻機模型所有參數的軟件。該軟件可用於監控單個參數以及設備的整體性能,並可用於學習和了解不同的工藝條件。易於使用的軟件還可用於修改配方參數以優化產量和吞吐量的性能。利用系統的多功能腔室設計，用戶可以在幹濕加工方法之間進行選擇，以滿足特定的工藝要求。可拆卸的工藝卡帶使設備易於根據不同的工藝要求進行重新配置，同時確保工藝步驟之間的最佳環境隔離。CETC LXS-800的設計目的是提供高度可靠的性能,並將過度處理和未充分處理的風險降至最低。精密光刻機能達到更嚴格的線寬要求，減少光掩模誤差。它為特定的工藝要求提供了理想的準確性,並為復雜、高密度或專門的光掩碼和光刻工藝提供了卓越的效果。該工具卓越的性能和用戶友好的界面使LXS-800成為研發和微芯片生產設施的絕佳選擇。可靠的資產和無故障的操作也使得CETC LXS-800一個經濟高效的解決光刻需要。