二手 CHEMALUX 100 #9231353 待售

CHEMALUX 100
製造商
CHEMALUX
模型
100
ID: 9231353
AR Coater system Hard coater Spin coater Flash mirrors Coats: (12) Pairs per day.
CHEMALUX 100是業界領先的光刻設備,專為生產具有微米精度的高清圖樣而設計。該系統結合了正光抗蝕劑的性能和與各種成像儀、激光直寫器和電子束掃描儀兼容的化學特性。由於處理步驟簡化、用戶友好和環境友好,這類抗蝕劑系統是開發用於各種電子應用的高分辨率模式的首選材料。100是一種由光敏抗蝕劑、顯影劑和剝離器溶液組成的正光抗蝕劑單元。光敏抗蝕劑是一種光敏材料,由溶液中的化學物質混合物組成,當暴露在光線下,形成一種不溶性的聚合物材料,作為保護層,防止進一步蝕刻。顯影劑是溶解暴露的感光層的強堿性溶液,而剝離器是去除未暴露的感光層的非溶劑溶液。該機的設計具有多種先進功能,可提高陣列制作過程的性能、準確性和效率。首先,刀具的光敏抗蝕劑具有較低的溶解速率,在蝕刻過程中保持穩定,即使使用高溫也能實現精確的圖樣復制。其次,抗蝕劑還具有很高的分辨率,能夠產生尺寸縮小到幾微米的圖案。例如CHEMALUX 100適合產生0.5 μ m X 1 μ m的圖樣。最後,利用圖像反轉技術優化了抗蝕劑資產的圖樣,在這種技術中,正圖像可以很容易地反轉成相應的負圖像。總體而言,100是一種高性能的光刻膠模型,便於快速、精確地為各種電子應用制作高分辨率圖樣。該設備的先進特性和易於使用的工藝,可實現精確的圖樣制作,使用戶能夠制作出微米精度的圖樣,成為光刻系統的首選。
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