二手 CHEMALUX 100 #9246757 待售
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CHEMALUX 100是由SAG Associates設計的光阻系統,為開發複雜的集成電路模式提供了統一的平臺。它由結合單體和固化劑或引發劑兩種主要成分組成。當以特定比例結合時,結合單體和引發劑反應迅速,在暴露於光線後不久就形成硬化膜。這種硬化的薄膜提供了更好的抵禦化學攻擊和水分的屏障,使100成為半導體應用的理想光刻膠。CHEMALUX 100抵抗光刻步驟中使用的酸和堿,在設備制造過程中提供無與倫比的分辨率。光致抗蝕劑可以根據項目或設備的確切規格進行定制,從而使非常小的特征能夠輕松準確地進行圖樣化和蝕刻。100的主要優點是沈積速度。它在基板上迅速傳播,同時提供一層均勻的光致抗蝕劑以抵抗蝕刻和後處理。CHEMALUX 100足夠穩定,可以用電子束圖案化,允許形成極細的特徵尺寸(小至50 nm)。這提供了卓越的絕緣以及尺寸穩定性。100的可加工性非常好,可以方便地打印、塗覆和成像光刻膠。它的高分辨率使得它能夠與廣泛的激光和光學成像系統一起使用。其化學性質,加上易用性,使其成為深層蝕刻、高溫處理和復雜口罩的理想光致抗蝕劑。綜上所述,CHEMALUX 100是一種全面的光刻膠系統,可以根據各種需求量身定制。高分辨率,易於加工,沈積均勻,是各種半導體應用的絕佳選擇。它的穩定性和耐化學性是不可能被擊敗的,使其成為集成電路陣列和器件制造的首選。
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