二手 CHEMALUX PSR 300 #9253609 待售

CHEMALUX PSR 300是一款設計用於多種應用的高性能光阻設備。光致抗蝕劑是設計用來與光源相互作用的化學系統，以便在各種基板上產生圖像圖樣。這個特殊系統使用的光源通常為450-490 nm波長，並且能夠生成最小線寬小於1微米的圖像。PSR 300光致抗蝕劑單元分為兩個部分：塗層和曝光過程中涉及的組件，以及開發和其他後處理步驟中涉及的組件。塗層和曝光組件包括一個分配單元、一個卷塗層和CAT 500可編程光曝光器。分配單元允許對具有均勻一致的光刻膠層的塗層基板進行精確的流量控制。滾動塗層然後將光刻膠塗在均勻的薄膜中。然後，CAT 500可編程光曝光器利用可編程激光將光照射到光刻膠上，以特定的圖樣將基板曝光。該機的開發和後處理部件包括沖洗站、硫酸等離子體剝離器和顯影罐。沖洗站確保在處理基板之前對基板進行清潔。硫酸等離子體剝離器用於去除底物中的光致抗蝕層。最後，顯影劑罐用於溶解基板上任何殘留的光致抗蝕劑，完成成像過程。CHEMALUX PSR 300光抗蝕劑工具為用戶提供一致的圖像制作，高度精確的圖像圖樣，以及廣泛的可以曝光的基板。這一資產能夠產生多種應用，如微電子、醫療設備和印刷電路。此外，這款機型簡化的操作控制，方便用戶快速起床。