二手 CHRIST Epsilon 2-4 LSC Plus Eco #293654509 待售
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CHRIST Epsilon 2-4 LSC Plus eco是一款提供高端性能、卓越靈活性和可靠性的光刻系統。該設備基於多頻激光源，提供高對比度圖像和寬波長範圍（從395納米到560納米不等）。該系統還包括一個自動制動裝置，允許將光束精確地引導到基板上，以及一個先進的溫度控制機器，確保在整個光致抗蝕劑工具中均勻加熱。該資產的特點包括多頻激光光源，使其能夠實現高分辨率成像，以及在廣泛的波長範圍內持續曝光。設備隨附的機制包括一個電動級和一個數字控制器來訪問存儲的圖像。它處理液體和基於凝膠的光刻膠的能力提供了一個明顯的優勢比競爭。該模型配備了強大的10位曝光算法和低光學設備，以消除衍射。該光學器件支持的功率可達420 W,而Neodymium-YAG和YaraFiber的功率可達50 W,脈沖寬度可達2 us。它可以在可調厚度的基板上實現多達4個排列的掩蔽元件,以微調對陣列精度的控制。系統的高速數據采集路徑允許快速曝光時間下降到亞毫秒範圍。Epsilon 2-4 LSC Plus eco兼容多種光刻膠類型，可安全地用於包括玻璃、銅和有機材料在內的基板上。該裝置還包括一個預烘烤站，其溫度區最多為3個，以消除暴露前基板中的任何殘留水分。通過網絡工作能力和模塊化平臺,計算機的多個控制系統可確保在其聯網子系統中快速共享數據。CHRIST Epsilon 2-4 LSC Plus eco能夠實現高分辨率成像、高對比度圖像和快速曝光時間，使其能夠生產出高度細節和精確度的設備。它的高吞吐量和快速的過程時間使它成為許多類型的企業和行業的理想工具。得益於其節能設計，資產還減少了高端生產所需的能源量。
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