二手 CLASS ONE TECHNOLOGIES 8600 #9267665 待售

TECHNOLOGIES CLASS ONE TECHNOLOGIES 8600 Photoresist Equipment是一種旨在提高微電子元件制造中所用光刻工藝的精確度和精確度的系統。該裝置將高分辨率光學成像機與先進的原位開發工具結合在一起，利用沈積和濕蝕技術創造出厚度小至250 nm的高精度特征。8600 Photoresist Asset利用多層成像技術,在已開發的特征和底層基板之間實現高對比度。TECHNOLOGIES CLASS ONE TECHNOLOGIES 8600 Photoresist Model由一個高解析度的光學成像設備組成，用於精確的圖樣放置和成它在光刻膠特徵與底層基板之間產生高度的對比度。該系統包括一個用於特征開發過程中精確曝光的高分辨率運動控制單元。單層成像可用於多層掩蔽技術。8600光刻機采用先進的原位沈積技術優化顯影室內的光刻特性。這種沈積技術包括兩個階段，一個階段是光致抗蝕劑的後顯影沈積，然後是通量驅動的蝕刻，以創建高精度的特征。使用濕化學蝕刻劑和反應性源氣體的組合進行蝕刻，以創建所需的光致抗蝕劑特征幾何形狀。TECHNOLOGIES CLASS ONE TECHNOLOGIES 8600 Photoresist Tool還包括用於光刻優化和過程自動化的高級軟件工具。它包含多個用戶界面選項,包括圖形、基於文本和基於命令行的程序界面,以便快速輕松地進行設置和流程修改。此外,該資產還利用智能自動化模型進行統一的特征開發,以解決環境中各種不同的情況。8600光刻設備提供卓越的精度和精確度與快速周轉時間。對於希望在光刻過程中最大限度地提高吞吐量和可靠性的制造商來說,這是一個極好的選擇。這種高度自動化的系統可用於生產具有卓越均勻性和均勻線寬的高分辨率圖案。CLASS ONE TECHNOLOGIES CLASS ONE TECHNOLOGIES 8600 Photoresist Unit利用其自動化軟件工具簡化了光刻設置和操作。