二手 CLEAN AIR PRODUCTS CAP1411-636-36H #293592370 待售

CLEAN AIR PRODUCTS CAP1411-636-36H光刻設備是創建光掩模和其他光刻項目的先進而高效的工具。它基於自上而下的圖樣化方法，並利用專門為此應用開發的精密光刻膠。界面直觀易用，可快速、精確設置光刻膠應用參數。該系統構建在一個六點單模具平臺上，具有高效的三爪卡盤，用於可靠的模具卡盤和定位。該裝置采用近激光光斑大小的二極管陣列照明光源和集成集成光束輪廓發生器，以實現最佳劑量均勻性。一個浸入式LED控制器和一個多級原位烘烤室提供可靠和可重復的性能。此外,可調節的曝光時間和高級曝光控制參數允許對應用程序進行微調。內置的抗蝕劑單元配備了單獨的級溫控抗蝕劑單元，允許光電抗蝕劑的溫控應用。此外，抗蝕劑裝置還配有內置的旋轉塗層，可形成均勻的光刻膠層。該機可以處理一系列尺寸可達6英寸的基板，高精度的掩模對準器使得能夠生產出大量具有精確特征尺寸的光掩模和光掩模。此外，該工具還配備了先進的數字圖像處理和缺陷檢測功能，提供了具有可重復結果的高質量模式。該資產還具有兩步曝光後烘烤功能，有助於消除腫脹和腐蝕，改善曝光特征的回彈和附著力。此外,該模型還具有石英晶體傳感器實時監控、單色CAL光盤和多用戶計算機控制設備以及密碼保護和審核日誌等功能。CAP1411-636-36H光刻系統提供了一個快速高效的平臺，為一系列光刻應用創建高精度的光掩模。其直觀的用戶界面、先進的曝光控制參數和數字圖像處理功能使其成為任何光刻項目的理想選擇。