二手 COBURN Stratum #9244709 待售

COBURN Stratum是一種光刻設備,它結合了先進的光學技術和光刻技術,在基板頂部創建高質量的三維結構。它已被用於半導體和微機電器件（MEMS）的眾多應用。該系統由兩個主要組件組成，即照明器和制圖單元，每個單元在實現所需的結果方面都發揮著重要作用。首先，照明器為基板提供特定波長的光的均勻曝光。這種波長可能是從紫外線到綠色的，這取決於所使用的光致抗蝕劑的類型。光線必須是均勻的，以便提供產生所需圖案的可靠手段。照明器也可以用來根據圖案所需的細節水平來修改曝光。第二，圖案單元包括模具、蒙版、微透鏡和對準單元。該模具用於繪制圖樣到一個基板上，該基板已經暴露在光線從照明。遮罩用於將所需的圖案傳遞到基板或基板表面。在圖樣上放置一個微透鏡，以減小圖樣上特征的大小。對齊機確保面罩放置和最終基板的精度。一旦面膜就位，基板就會受到光照。這是通過使用激光或洪水暴露技術來完成的。曝光後，多余的光致抗蝕劑通過使用顯影劑除去。顯影劑含有化學物質，這些化學物質從基板上去除光致抗蝕劑，但保留所需的圖樣。為最終確定工藝，可以采用蝕刻或沈積技術進一步修改圖樣。Stratum是一種功能強大且用途廣泛的光掩模工具。它被廣泛的應用，包括半導體器件、MEMS器件和光電元件。性價比高，周轉時間短，是成本敏感項目的一大利好。