二手 CONVAC 1001 #293653478 待售

CONVAC 1001是由CONVAC GmbH開發制造的高性能光阻設備，CONVAC GmbH是半導體行業先進加工系統和耗材的領先供應商。該系統適合各種工藝應用，專為薄膜光刻沈積、升空操作和半導體制造的高分辨率圖樣而設計。1001具有提供非常高的過程控制和精度的雙束光學投影單元。該機使用精確對齊、聚焦在光阻基板上的準直光束，提供優越的圖樣傳遞和特征對準。專用軟件和算法自動優化光刻膠圖樣性能，便於工藝參數調整，控制光照強度和波長。CONVAC 1001還具有一個高級塗層單元,其設計目的是在整個基板區域提供統一的覆蓋範圍。這確保了光刻塗層的質量一致，缺陷最小化，並且改善了光刻厚度的均勻性。該工具高度自動化，可以通過內置的基於Web的界面進行遠程控制。此外，1001還配備了實時監控資產，跟蹤薄膜光刻塗層的工藝參數，提供高的工藝控制和反饋，以獲得最佳性能。總體而言，CONVAC 1001光刻膠模型是廣泛光電和半導體工藝應用的理想解決方案。它提供卓越的性能、精確度和控制,使其成為靈活制造、更高產量和低成本制造的理想選擇。