二手 CONVAC CRH 9S #54531 待售
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ID: 54531
優質的: 1988
Spin coater
390v, 50hz, 5.5kva
Complete with spares and books
1988 vintage.
CONVAC CRH 9S光電抗蝕劑設備是半導體工業中一種用於飲用和回收光電抗蝕劑的強大而精確的工具。該系統旨在為客戶提供最新的尖端技術,使他們能夠實現制造目標。該單元是多種不同成分的組合,每一個執行自己的任務,最終產生一個精密的光敏膠片。CRH 9S的組件包括運輸真空室、阻燃蒸發器、級聯室、氣溶膠霧集中器、冷凝器和滾筒後座機。運輸真空室是一個裝有光致抗蝕劑的室。一旦進入,光致抗蝕劑就會暴露在真空中,從而從抗蝕劑中除去任何揮發性成分並確保均勻沈積。抗蝕劑是一種將抗蝕劑均勻地分配到基材上的部件。加熱的汽化器能夠精確地緊貼基材表面,然後同時進行熱沈積,使抗蝕劑形成厚度均勻的均勻薄膜。級聯室的作用是均勻地分散抗蝕劑液滴,然後以快速、一致的速度將抗蝕劑進一步分配到基材上。級聯室還通過保持液滴小而均勻地分布在基板上來幫助控制抗蝕劑的均勻性。氣溶膠霧集中器在級聯室中循環時,可以從濃縮液滴中除去任何異物顆粒。這一組成部分還有助於確保抵抗的一致性和統一性。冷凝器是氣溶膠霧集中器的動力,因為它凝結和冷卻抗蝕劑。冷凝器還有助於調節抗蝕劑溫度,防止其沸騰成液滴。最後,采用滾筒反沖工具,幫助均勻快速地反沖基材。滾筒反沖資產還可以通過增加基板反沖的重復性來幫助減少抗蝕膜上的缺陷。總之,CONVAC CRH 9S光刻膠模型是半導體工業中一種強大而精確的光刻膠飲用和回收工具。這一設備包括一個運輸真空室、一個抵抗蒸發器、一個級聯室、一個氣溶膠霧集中器、一個冷凝器和一個滾筒後坐力系統。所有這些組件的工作結合,以產生一個精密的光刻膜具有極好的均勻性,一致性和可重復性。
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