二手 CONVAC / FAIRCHILD 8000 #114088 待售

CONVAC / FAIRCHILD 8000
製造商
CONVAC / FAIRCHILD
模型
8000
ID: 114088
晶圓大小: 8"
coater, 8", cassette to cassette.
CONVAC/FAIRCHILD 8000是一種最先進的光刻設備,廣泛用於光刻和制圖,特別是半導體加工。CONVAC 8000提供了一系列全面的特性和功能,使其成為要求苛刻的應用程序的理想選擇。FAIRCHILD 8000由一個光刻室組成,包含一系列加工元件。這包括一個基板和框架、一個光刻膠裝載機、一個反應性離子蝕刻器、一個光刻膠蒸發器、一個等離子體源和一個自旋塗層。基板和框架為光刻膠提供機械支撐,而光刻膠裝載機則精確地將材料裝入和分配到基板上。反應性離子蝕刻器利用等離子體將圖樣和圖樣發展成光致抗蝕劑,而蒸發器則用於沈積金屬或有機分子等不同材料。等離子體源可用於在光致抗蝕劑中產生自由基,自旋塗層用於將光致抗蝕劑均勻地塗在基板上。8000提供無與倫比的熱穩定性和均勻性,允許精確且可重復的結果。此外,其先進的自動化功能(包括機器人技術和支持Web的用戶界面)顯著減少了人工勞動並優化了流程。該系統還可以與現有設備和其他成像系統相結合,進一步擴大其效用和能力。在性能方面,CONVAC/FAIRCHILD 8000擁有快速的處理時間和出色的分辨率,這使其成為許多應用程序的高度可靠的選擇。此外,它的多用途底物尺寸、化學多功能性和各種真空級別為獨特的應用程序提供了自定義設置。此外,該單元還可以使用各種基板,從矽到陶瓷、金屬等等。總體而言,CONVAC 8000是行業領先的光刻機,具有無與倫比的熱穩定性和可重復的結果。它提供了一系列全面的特性和功能,使其成為詳細且要求苛刻的項目的理想選擇。
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