二手 CONVAC LBA 7 #9177469 待售

CONVAC LBA 7是專為先進半導體器件制造工藝而設計的光阻設備。它具有多種復雜的特性，包括防腐塗層、紡絲、烘烤和開發集成電路制造過程中使用的光刻膠層。該系統還具有先進的三軸掃描級，用於光刻。LBA 7提供的抗蝕塗層具有獨特的固體分數調節特性，提供高度均勻的薄膜厚度。旋轉過程的轉速在100至3500 RPM之間,可提供可選的加速和減速速率、空氣動力學自旋速率穩定以及用於精確控制的平均離心力傳感器。人性化烘烤裝置的可調溫度範圍為50至400°C，基板上的溫度均勻度± 0.5°C。為進行開發，該裝置的可調顯影劑溫度範圍為10至40°C，以便在處理各種光致抗蝕劑時獲得最佳效果。對於掃描階段，CONVAC LBA 7提供了0.5 µm的出色重復性，以及高度精確的加速度和速度控制。這允許在基板上高度精確和精確地放置圖樣。還包括一臺超精確的XYZ手動對準機,其定位精度為0.1 µm ±。該工具還具有可編程曝光功能，可與任何自動光刻設備集成。LBA 7旨在成為高效、用戶友好和經濟高效的資產,用於制造集成電路制造過程所需的各種光刻膠層。它具有頂端的抗塗層、紡紗、烘烤和發展性能,可以精確自動化以獲得最佳輸出。用戶友好的設計和先進的掃描階段使其成為精確光刻的理想選擇。