二手 CONVAC M 2000 #293585687 待售

製造商
CONVAC
模型
M 2000
ID: 293585687
Spinner / Coater Gas: Boron.
CONVAC M 2000是一種用於半導體加工的光阻設備。它主要用於微電子光刻應用,如薄膜沈積、3D蝕刻和印刷電路板蝕刻。該系統旨在使用戶能夠以高精度快速開發各種先進的半導體結構。CONVAC M2000能夠快速移動並精確對齊一系列光學工具,如步進器、掃描儀和顯微鏡。這使用戶能夠將復雜的3D形狀轉換為基板上精確的曲面特征。該設備可配置為手動和自動操作。M 2000具有獨特的照片遮罩板,可用於從任何給定的設計中生成精確的圖案。該板由聚合物膜組成,對紫外線和X射線輻射敏感。用戶在印版上選擇一個或多個感光元素以生成所需的圖案。這可以通過將板直接暴露於輻射源或使用編程的設備如步進器來實現。機器還支持各種其他的過程,補充光刻操作。這包括後處理操作,如ashing、doping和sputtering。該工具還支持濕蝕刻,使用戶能夠在結構內更精確地蝕刻。M2000結合了先進的功能和易於使用的控制,為執行高質量的光刻膠操作提供了可靠且經濟高效的方法。由於其高水平的準確性、靈活性和可擴展性,它是小型實驗室和生產線的理想平臺。
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