二手 CRESSINGTON 108 Auto #293768241 待售
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CRESSINGTON 108Auto是為晶片和其他基材的精確且可重現的加工而開發的光阻設備。它旨在處理各種光敏沈積和加工操作。該系統配有低溫熱蒸發器,允許在基板上均勻塗覆光刻膠。它采用了高精度的平面噴嘴模塊,以確保光刻膠在整個基板上的均勻分布。該單元可以在單模塊和多模塊配置中工作,分別有8個或16個噴嘴模塊。108Auto在開發過程中提供精確的溫度和壓力控制,以確保重復性和準確性。它配備了易於使用的圖形用戶界面(GUI),用於編程、監視和執行作業。該機器還包括用於對齊特征、成像和膠片評估的軟件工具。這樣可以確保該過程在底物和運行之間是一致的。對於分配過程,CRESSINGTON 108Auto配備了真空光刻膠分配(VPD)選項。這允許精確和可重復的照片抵抗加載和分配。該工具還可以安裝晶片蝕刻選項,從而能夠在晶片表面上蝕刻光刻膠。此外,晶圓清洗模塊選項允許在此過程中清除不需要的殘留物。108Auto設計用於標準清潔環境,符合5類100/ISO要求。由於其直觀的設計、符合人體工程學的布局和先進的安全功能,它需要最少的操作員培訓,並提供更好的用戶安全性。該資產符合廣泛的行業標準,並且與SEMI Standard 300 mm工廠接口規範兼容。總體而言,CRESSINGTON 108Auto模型為復雜光敏結構的精確沈積和開發提供了可靠、堅固和用戶友好的平臺。它是生產需要精密加工的晶片和基材的理想選擇。
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