二手 CRESSINGTON 108 Carbon/A #293656286 待售

CRESSINGTON 108 Carbon/A光刻設備是一種業界領先的光刻技術，用於制造半導體器件。該系統采用碳基有機氣相沈積（CVD）方法，可以精確控制碳基光致抗蝕劑材料在晶片基板上的沈積。這在沈積的光致抗蝕劑的特性和質量上提供了高度的均勻性。該單元由一個自動沈積室、一個用於精確應用光刻膠材料的光刻膠分配室和一個用於沈積後固化的光刻膠顯影室組成。該機器能夠沈積厚度從0.5 µm到200 µm不等的光刻膠，均勻度± 0.5微米，加工速率為每小時11-30晶圓。該工具可與SU-8、AZ、ORM、HMDS等標準光刻膠化學品配合使用，並可針對金屬或介電塗層、多層蝕刻掩蔽、背面光刻等特定光刻膠應用進行優化。沈積室中的溫度範圍在25-185 °C之間，在較低的工藝溫度下可實現真空穩定至0.1 Torr的臨界蝕刻工藝。該資產提供了多種功能來增強光刻膠應用程序流程的性能,包括用於精確控制的自動分配流校準模型,以及用於記錄所有流程參數的內置數據記錄器。此外，該設備還包括一個內部診斷系統，用於檢測光刻沈積過程中的故障操作。CRESSINGTON 108 Carbon/A光致抗蝕劑單元用途廣泛、可靠，能夠為廣泛的臨界半導體應用生產高精度、高均勻度的光致抗蝕劑層。憑借其內置的自動化、先進的診斷和監控能力以及對工藝參數的控制，該機是業界領先的光刻工藝的理想選擇。