二手 DAN SCIENCE ASL-7500A #9396567 待售

DAN SCIENCE ASL-7500A是為二氧化矽（SODS）材料蝕刻而設計的最先進的光刻設備。該系統使用400 nm波長的激光器處理薄膜材料,形成均勻、高分辨率的蝕刻圖樣,蝕刻速率高達6um/sec。ASL-7500A是一臺可靠、精確的機器,總工作面積為24x24英寸,激光光斑大小為10um。該單元能夠產生5 um和3 um的臨界線定義。DAN SCIENCE ASL-7500A采用了一些最先進的光刻技術,從而在創建復雜設備時實現了最大精度和精確度。該機器利用先進的3級自動軌道精確定位光頭。該跟蹤工具的帶寬可達100MHz，能夠將激光精確定位到亞微米級。激光光束數據接口（LBDI）協議提供實時性能參數，以確保蝕刻模式的最佳一致性。另外，先進的控制軟件允許對槍進行精確的光學調節，使得厚薄膜的信號強度一致。ASL-7500 A的軟件具有多種蝕刻工藝，從木樁蝕刻到RIE（反應性離子蝕刻），允許與多種材料最大的兼容性。該資產旨在方便地集成到各種系統中,具有先進的通信端口和現代I/O模型。該單元與各種復雜工藝控制的光刻膠配方兼容，確保了最佳蝕刻熟練度和完全精確度。DAN SCIENCE ASL-7500A是廣泛應用的理想光刻設備。該單元能夠在各種薄膜材料上創建詳細、高精度的特征。其先進的控制方法和軟件兼容性使其成為需要一致和可靠結果的用戶的理想選擇。該系統處理各種材料的能力，包括SODS，使得它非常適合半導體行業的研究人員和專業人士。