二手 DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES TC DR-15 SUS #9309592 待售

DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES TC DR-15 SUS
ID: 9309592
晶圓大小: 8"
Cleaning system, 8".
DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES TC DR-15 SUS是一種光刻設備,旨在為光刻用戶提供快速、可靠、高精度的處理。它是一個全自動系統,提供一套光刻工藝。該裝置采用集成的掩模對齊器,提供精確、快速的光掩模對齊。這樣可以更精確地抵抗塗層、暴露和顯影。它專為大面積對準範圍可達870 mmx 870 mm的小型和大型設備制造而設計。自動護送功能有助於保持高吞吐量和一致的結果。此外,該機還具有易於操作的直觀用戶界面。它包括用戶可選擇的焦點標記模式,允許用戶同時定位和聚焦最多三個光掩碼,從而顯著縮短對齊時間。它還具有掩蔽區域檢測、定位精度、對準速度和可重復性等標準特性。TC DR-15 SUS旨在提供卓越的光刻效果和高質量的圖像。它能夠解析分辨率為0.1 μ m的敏銳度圖像,並具有8英寸的吞吐量級處理能力。它還具有30加侖的油箱,即使在更高的圖像分辨率下也能確保一致的質量結果。該工具專為可擴展性而設計,其可編程參數使其能夠處理各種設備幾何形狀和材料。它也非常適合於多級工藝應用,如MEMS、LED和光學微元件。Dan-TAKUMA TECHNOLOGIES TC DR-15 SUS是半導體和電子器件制造的理想資產。它旨在最大限度地減少人工操作,最大限度地減少人為輸入錯誤,並最大限度地提高準確性。它可靠、快速,每次都能提供高質量的光刻效果。
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