二手 DELTA 4CJ #293628703 待售
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ID: 293628703
晶圓大小: 6"-8"
優質的: 2005
Photoresist coater, 6"-8"
Non-functional
Cybor pump
PC
2005 vintage.
DELTA 4CJ是日立化工有限公司研發的一款光敏設備,為印刷電路板(PCB)和半導體器件制造提供卓越的光敏度和高分辨率。該系統由可溶劑開發的負作用聚合物基體組成,與競爭對手的光致抗蝕劑相比,該基體受水分和化學物質的影響較小。4CJ單元由於其改性的矽基聚合物基體具有較高的穩定性,該基體耐水和強堿性溶液,可引起其他光致抗蝕劑的早期變質。這使得DELTA 4CJ機器特別適合於需要長溶劑循環的高溫過程。4CJ中所含的改性聚酰亞胺也提供了出色的分辨率,在光照下可達到高達0.5微米的細線分辨率。DELTA 4CJ的溶劑開發聚合物需要簡單的工藝條件才能獲得最佳性能。水性堿顯影劑的短自旋周期為10-20秒,範圍為80-90攝氏度,足以溶解。在240攝氏度下烘烤30分鐘可加速發育並提高產量。4CJ工具暴露於高能紫外線光源,如紫外線固化中心提供的EL-20B光源,導致快速溶解和高對比度圖像顯影。DELTA 4CJ資產對暴露後殘留物具有很高的抵抗力,從而提高了後續導電金屬化層或介電層的附著力,增加了在多層組件中成功制造的機會。此外,由於其耐用的高分子基質,4CJ在暴露後的壽命非常好,進一步確保了長期的卓越性能。綜上所述,DELTA 4CJ模型由於其優越的分辨率和穩定性,是高性能PCB和半導體制造工藝的絕佳選擇。該設備的溶劑開發性質也使其易於使用,而其優越的附著性能保證了在復雜的多層裝配中的成功。
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