二手 DELTA 5AQ #293628639 待售

DELTA 5AQ，又稱光刻設備，是關鍵微電子器件制造工藝中的一種技術。這類技術旨在使技術人員能夠以經濟高效的方式在各種基板上產生耐用、高精度的物理特征。5AQ系統是利用光聚合物多層抗蝕劑的先進光刻工藝。抗蝕劑以液體形式生成，並作為粘性薄膜塗在要圖案化的基板上。一旦使用了抗蝕劑，基板就會受到適當的曝光波長的光。這種暴露會引發化學反應，改變抗蝕劑的狀態，使其溶解度降低，最終使抗蝕劑膜變硬。在暴露過程之後，現在可以通過有選擇地沖洗掉改變後的抗蝕劑來對基板進行圖樣化。DELTA 5AQ單元允許由於薄膜抗蝕劑的組合、精確的曝光波長和精確的抗蝕劑開發過程，在基板上制造非常精細和復雜的物理特征。此外,5AQ還提供了卓越的邊緣定義、特征尺寸精度和過程吞吐量-所有這些都是以低成本實現的。DELTA 5AQ光刻機憑借其強大的性能和成本效益，已成為微電子行業的重要工具。它使技術人員能夠快速準確地在基板上生成精確的物理特征（最低5微米）,這對於任何設備的性能都是必不可少的。5AQ工具還提供出色的晶片對晶片和層對層控制,使技術人員能夠控制基板的臨界尺寸（CD）,以便精確地制造設備。此外，與傳統系統相比，DELTA 5AQ資產提供了更好的安全和環境保護。總體而言,5AQ光刻膠模型提供精確的物理特性,並以合理的價格提供準確可靠的工藝。它是微電子工業中極為重要的工具，近年來已成為器件制造的標準。