二手 DELTA 5AQ #9395524 待售

DELTA 5AQ設備是為清潔生產微電子器件而設計的最先進的光刻系統。此單元專門用於幫助制造商更好地管理其流程、最大限度地減少缺陷並降低成本。該機器提供了廣泛的強健光刻服務，可以支持需要創建高質量微電子元件的組織。這包括蒙版、圖案和光刻等過程。它還提供了多種高級功能，如圖案叠加檢查、垂直線掃描和自動化過程監控。5AQ是一個由開發工作站、處理器和自動晶圓處理程序組成的三元組工具。這三個組件協同工作以確保一致和優化的過程。開發站負責資產中使用的光刻膠的服務和批量調優。它具有高速內存模型，可以快速傳輸數據和配方。處理器包含多個泵和攪拌器、遠紫外線燈和噴槍，使光刻膠開發和處理操作的全陣列。它還有一個直觀的用戶界面，引導用戶完成整個過程。處理器還包含一個自潔設備，以保持清潔和化學穩定性。自動晶圓處理程序可以處理各種晶圓大小,並提供最高的吞吐量速率。它使用先進的機器人技術和精確的運動系統來精確地對準和放置基板。該系統還配備了一個特殊用途的對接站，可以方便地交換基板。總之，DELTA 5AQ是為生產高質量微電子元件而設計的先進光阻裝置。它結合了強大的開發工作站、處理器和可靠的自動化晶圓處理程序,以確保一致和優化的過程。機器是完全自動化的，提供了一個易於使用的用戶界面。憑借其尖端的特點，該工具是任何需要生產高質量微電子元件的組織的完美工具。