二手 DELTA 7EK #9395525 待售
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ID: 9395525
晶圓大小: 6"-8"
優質的: 2008
Coater, 6"-8"
(1) Dedicated puddle dispense arm for developer and N2
(1) Dedicated spray arm for developer and DI rinse
THERMO SCIENTIFIC A25 Chiller
PC
2008 vintage.
DELTA 7EK光敏設備是一種精密光敏加工的緊湊、經濟的解決方案.它提供了一個多合一平臺,既可節省成本,又可帶來性能效益。該系統具有提供精確波長控制的全光譜LED光度計,以及用於精確光曝光測量的內置太赫茲石英晶體監視器。該單元支持多種光敏材料,包括光敏浸泡的VGA,靜態和動態的抗蝕劑,以及抗塗層的金基板。集成的化學解決方案可提供出色的分辨率和性能優勢,同時將停機時間保持在最低水平。該機器具有允許快速設置程序的高級自動加載程序,並且可以設置該工具以在一個步驟中自動觸發多次曝光。這種流線型的設計大大減少了制備和更換試劑所需的時間,並且可以在相同的設置中容納多種光敏材料。集成的洪水噴射特性允許同時處理多余的光致抗蝕劑材料,進一步減少了更換抗蝕劑所需的時間。在性能方面,7EK能夠分辨率高達0.5µm,具有擴展的景深。該資產的設計目的是提供一種均勻的抗性塗層,在各種工藝和基板上保持一致。該軟件非常直觀,允許操作員根據需要快速設置、執行和調整流程步驟。在安全性方面,DELTA 7EK Photoresist Model旨在最大限度地減少操作員接觸有害材料。帶有經過過濾的氣流設備的防護罩減少了空氣暴露帶來的危險。廢氣鼓風機進一步減少了操作員進入危險區域的需要,同時確保安全處置過程中使用的化學品。7EK光刻膠系統是精密光刻膠加工的絕佳選擇。其直觀的單元設計使其易於操作,而其先進的功能則允許過程自動化和精確的控制。機器的安全特性讓操作員安心,其價格合理的性能確保了它是任何生產線的強大解決方案。
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