二手 DNS / DAINIPPON 200W #9227318 待售

DNS/DAINIPPON 200W是一種超快速可靠的SAMCO光刻設備,旨在支持批量生產應用。該系統采用自動非接觸對齊工藝，能夠處理高精度對齊，提高吞吐量和產量，同時提高設備生產率。光致抗蝕劑被應用在大氣受控的環境中，從而有效地保護其免受空氣傳播的汙染。該單元擁有單鏈曝光源技術，具有200瓦脈沖激光二極管，使其能夠在一小部分時間內實現超高分辨率特征，並且比傳統的光敏系統精度要大得多。這臺機器設計得非常緊湊，占用的空間大大少於競爭對手的系統。該工具包含兩個獨特的概念：動態曝光和空浮對準。動態曝光特征使資產能夠檢測和認同光刻膠圖案的形狀，實時微調對準，達到高精度的結果。空氣浮標對準減少了過程中的扭曲量，增加了在復雜結構中應用光刻膠時可以結合的柔韌性。該模型利用現成的Quartz作為基材，與其他光刻膠系統相比，它以較低的成本可靠。石英將激光脈沖轉化為熱，因此在抗蝕劑中實現均勻腐蝕。此外，石英表面在暴露於大氣中時完全被天然氧化物層覆蓋，從而形成更加均勻的抗蝕層。此外,由於其內置的數據處理系統（包括存儲設計數據和暴露參數的工具），設備提高了效率並減少了時間消耗。這減少了每個周期的生產時間,因為只需要輸入暴露參數和測試結果,就不需要繁瑣的手動數據輸入。因此,由於暴露時間縮短和測量更準確,產品質量得到了改善。總而言之,與市場上的其他系統相比,DNS 200W是一個可靠的光阻單元,可提供卓越的分辨率、高吞吐量、提高的生產率和低成本。其動態曝光和浮空對準特性使其成為任何生產應用的最佳選擇。