二手 DNS / DAINIPPON 200W #9277847 待售

DNS / DAINIPPON 200W
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
200W
ID: 9277847
Coater ASML Interface module, 8".
DNS/DAINIPPON 200W是為半導體器件開發而設計的高分辨率光敏塗層設備。它是一個靈活、高效的系統,適用於分析和生產應用的處理。DNS 200W裝置采用先進的液體抗蝕劑浸入式光刻技術,結合自動化技術,在各種晶圓加工中提供卓越的性能。該機采用多層、多工藝的光刻塗層,提供了改進的塗層均勻性和薄膜塗層特性。此外,采用了一種獨特的微觀制造技術,以確保由於塗層厚度或表面粗糙度的局部差異而產生的最小線寬變化。該工具采用自動晶片加載設計,方便過程重復性。資產配備彩色液晶顯示器,顯示時間、溫度、壓力和其他重要的工藝數據。此外,具有設計提示支持的用戶友好圖形界面使模式設計更容易、更快。該模型提供了出色的抗蝕劑附著力,而不會失去任何抗蝕劑性能,從而提供比其他光刻膠系統更高的線條分辨率和一致的抗蝕劑輪廓。該設備還提供了廣泛的光阻塗層選擇,從正負金屬到酸和水性抗性溶液。該系統采用機器人控制的晶片處理技術,實現了高精度的自動矽片安裝工藝。在設計保護清潔環境的DAINIPPON 200W單元時特別考慮。為保證潔凈室內的光刻處理質量,機器配備了各種過濾器和探測器,不斷監測潔凈室內的塵埃顆粒和濕度。總之,200W工具提供了一種先進的,用戶友好的光刻處理資產,具有廣泛的塗層材料,用於各種晶圓加工。它的自動化晶片處理和出色的抗粘性使高分辨率模式能夠在清潔的環境中得到開發,使其成為半導體器件開發和生產應用的絕佳選擇。
還沒有評論