二手 DNS / DAINIPPON 4-SC-80BW-AVE #293655891 待售
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DNS/DAINIPPON 4-SC-80BW-AVE光刻設備是一種負色調光刻技術。它是一個設計用於半導體器件制造過程的系統，允許在光致抗蝕劑基板上層的圖樣化。單位名稱是指機器的尺寸，為四乘八厘米，由DNS制造。這種光刻工具適用於廣泛的半導體制造工藝，包括厚膜沈積、薄膜蝕刻、光刻、電介質沈積等操作。該資產具有一種單體級分子量控制劑和一種抗反射塗層，這種塗層可以提高能力和減光抗蝕劑成像。這保證了0.1微米線等小特征可以在各種基板上產生。該模型還被設計為使反射最小化，從而允許層間電阻率參差不齊，並提高圖樣之間的精度。設備需要使用熱修復膜，因為它是一種負性抗性。在對光刻膠成像之前，將這層膜塗在基板上。薄膜在成像過程中保護基板不受熱量的影響，防止遷移，還具有改進蝕刻的附加好處。一旦光致抗蝕劑成像，底物就可以暴露在光子或離子過程中。熱修復膜的設計也是為了確保在不影響底層電路及其組件的情況下可以去除抗蝕劑。這是通過使用斜面處理來實現的,即使在曲面上也能改善抗蝕劑的去除。此外，該系統還具有深層紫外線暴露等技術，用於提高圖樣特征的準確性和分辨率。歸根結底，DNS 4-SC-80BW-AVE Photoresist Unit是半導體制造過程的理想解決方案，尤其是在光致抗蝕劑基板上圖樣化層時。該機采用單體級分子量控制劑和抗反射塗層，有助於確保0.1微米線等小特性能夠準確產生。該工具還包括熱修復膜和深紫外曝光控制技術，保護基板並確保改進的抗蝕劑去除。
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