二手 DNS / DAINIPPON 60A #9162932 待售

DNS/DAINIPPON 60A是一種用於半導體加工的光刻設備。它旨在借助光敏材料在矽片上提供高分辨率圖樣。該系統基於一種PAA（Photoresist Acid-Antagonistic）技術，該技術是光抗性前體和堿性成分的組合。這種組合可以通過控制光照照射到光刻膠上，在晶片表面上實現精細的分辨率圖樣。該單元由光致抗蝕劑、曝光單元、顯影劑和旋轉單元組成。DNS 60A中使用的光致抗蝕劑是一種液態樹脂，與對光反應的低聚物混合。晶片暴露在光下時，低聚物會造成光致抗蝕劑溶解度的變化，使得某些區域受到顯影溶液的影響。曝光單元由數字投影鏡頭、快門、直線級、石英燈和控制器組成。該單元以不同的強度和角度將光投射到晶片上。顯影劑是一種特殊的溶液，用於去除不需要的光致抗蝕劑區域，將圖樣化的區域留在光照過的晶片上。最後，使用旋轉單元以預定的速度和時間機械旋轉晶片，使表面均勻地覆蓋有光致抗蝕劑。DAINIPPON 60A可用於高精度、高效率地制造半導體元件.它可以達到50納米的最小特征尺寸的精密圖樣。該機器還可以支持高吞吐量，因為它能夠在單個旋轉塗層過程中將多種圖樣傳遞到一個晶圓上。此外，光致抗蝕劑是環保的，這對於許多工業應用是可取的。總體而言，60A光敏工具是在半導體晶片上創建精密圖樣的有效工具。它易於使用，並能產生非常精細的分辨率的結果。此外，它是環保的，使其成為尋求環保解決方案的行業的有利選擇。