二手 DNS / DAINIPPON 60A #9188819 待售
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DNS/DAINIPPON 60A是一種先進的光刻設備,專為在寬大的基板上快速應用薄而均勻的塗層而設計。該系統是滿足微電子制造需求的最先進的解決方案,例如在半導體晶圓制造中。該單元由一系列組件組成,包括一個高功率紫外線光源,它提高了沈積過程的速度並允許控制薄膜厚度。為確保均勻沈積,光源配有掃描儀,使光束在平面內移動並旋轉,以達到最佳覆蓋範圍。此外,該機器還包括一些光學濾光片,以及一個石英窗口,該窗口優化了所選波長範圍的傳輸。此外,該工具包括一個溫度控制功能,使一個均勻和可重現的塗層在大型基板。該資產還便於冷熱固化,進一步提高了光刻膜的厚度均勻性和穩定性。在這種模式下,過程開始於施加熱蒸氣,然後將基板冷卻到設定溫度。所有這些特性使得這種光刻膠模型非常適合大型晶片生產。塗層一旦塗上,就可以暴露在紫外線光源下,與DuPont 625F或OSRAM TO/T2等開發者一起開發。通常,光致抗蝕劑是可見的,具有不透明度。然而,光致抗蝕劑DNS 60A被設計成人眼幾乎看不見,確保了精確的薄膜沈積。除了這種設備通過集成濾波器所具有的出色的抗蝕性外,它的設計還為在一系列其他過程中使用提供了相當大的靈活性。例如,它的設計支持各種定制解決方案,從低溫環境到高溫環境不等。該系統還與電子束結合,用於超高分辨率沈積。DAINIPPON 60A是一種可靠且用途廣泛的先進光刻裝置,具有為晶圓制造量身定制的特點和應用。該機提高了沈積速度,提高了薄膜沈積的均勻性,提高了柔韌性.它能夠使薄薄和均勻的塗層,並允許精密沈積細膩或復雜的特征。其高分辨率結合經常性結果,提供可靠的操作和一致的質量。使60A成為現代微電子制造的理想解決方案。
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