二手 DNS / DAINIPPON 60A #9252552 待售

DNS/DAINIPPON 60A是一種用於半導體制造領域的光敏設備。光致抗蝕劑是一種對紫外線敏感的有機膜，用於在半導體結構上繪制微電路和其他細微特征的圖樣。DNS 60A是一種B型樹脂體系，其蝕刻特性優於其他類型的光刻膠。該單元由A型液體抗光劑、B型粉末塗層光致抗蝕劑和深灰色顯影劑組成。液體抗光劑通過自旋塗層施加，粉末塗層形式噴灑到基板上。然後使用深灰色顯影劑有選擇地去除光致抗蝕劑，這會在薄膜中創建描述所需結構的圖樣。DAINIPPON 60A機非常適合需要高分辨率和垂直壁輪廓的圖形的應用。A型液體光阻能產生長寬比約1：1、細線寬0.2微米的特性。B型粉末塗層光刻膠能夠產生長寬比高於10：1、線寬降至0.05微米的墻面輪廓。該工具還表現出良好的蝕刻阻力，這意味著一旦在基板上圖樣化的特征將在蝕刻過程中保持完整，從而產生更好的尺寸精度。此外，該資產能夠在低於沸點的溫度下成型，這是半導體加工的一個重要因素。總體而言，60A光刻膠模型是一種可靠、經濟高效的設備，用於制作詳細、高分辨率的圖樣。其出色的墻面輪廓特性、蝕刻阻力和低溫制圖能力使該系統成為半導體應用的理想選擇。