二手 DNS / DAINIPPON 60A #9252573 待售

DNS/DAINIPPON 60A是為制造微電子工業中精確、高分辨率圖樣而設計的光刻設備。該系統由一種光致抗蝕劑材料組成，該材料應用到基板上並暴露於紫外線。光致抗蝕劑對紫外線產生反應，並在一個稱為「交聯」的過程中被改變，該過程賦予材料所需的形狀，由此產生的圖樣具有納米尺度的精確度。光致抗蝕劑暴露於紫外線的過程是精確和可重復的，允許高度可靠的生產模式。光致抗蝕劑以液態施加在基板上，然後被紫外線選擇性激活。紫外線的強度被控制，以確保精確的曝光水平，這直接影響到得到的圖樣的分辨率。DNS 60A的技術允許光致抗蝕劑有選擇地暴露或屏蔽，從而允許產生窄至15-20納米的高分辨率圖樣。DAINIPPON 60A單元的一個主要優點是能夠沿著曲面產生緊密的圖案,從而能夠制造高度專業化的零件。這種技術是通過光刻膠暴露於一個圓形光環中而得以實現的，該環僅激活光刻膠直接暴露於光的部分。有了這種精確度，就能快速、準確地生產出曲線平滑、細節細膩的電路和元件，而不會產生額外的材料。除了制造高分辨率圖樣的能力外，60A還提供了行業領先的幹蝕刻工藝，在這種工藝中，SF6和CO2的混合物在曝光後應用於光刻膠。這個蝕刻過程去除了紫外線激活的區域，只留下未公開的光刻膠。這樣就可以在矽晶片上制作出精細、超細的圖案和形狀，以及多層蝕刻，其層薄於1至2微米。除了精密製造的應用外，DNS/DAINIPPON 60A還用於醫療和牙科植入物的生產，以及科學研究和生物技術領域的微加工。DNS 60A機具有高精度、重復性和廣泛的應用，是業界領先的精密微電子生產的寶貴工具。