二手 DNS / DAINIPPON 629 #9218807 待售

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製造商
DNS / DAINIPPON
模型
629
ID: 9218807
Coater systems Missing parts: Chiller Motor.
DNS/DAINIPPON 629是一種無鉻、正色調、近紫外線的光刻膠,專為光刻工藝而設計。它是一種水基、近紫外線光刻膠,在光刻中提供比傳統有機顯影劑更高的分辨率。抗蝕劑的主要成分是聚乙烯基吡咯烷酮(PVP),一種用於提高水溶性的聚合物。它還包含一個光引發劑,一種催化劑,允許其他組件在照片曝光後更快地降解。此外,它還包含一個酸生成器,如馬來酸,充當緩沖劑。抗蝕劑還具有堿性成分如氫氧化鈉或氫氧化鉀,有助於降低抗蝕劑的表面張力,促進對底物的粘附。此外,抗蝕劑還具有一種催化劑,如叔胺,這種催化劑能夠在暴露於接近紫外線的情況下在暴露後發展。DNS 629光刻設備成功的關鍵在於其優於非導電基板的附著力。它還能抵抗高溫和輻射,使其適合在高溫過程中和電子束(EB)的存在下使用。抗蝕劑是一種負音,意思是抗蝕劑的未暴露部分在開發時被開發者溶解掉。然而,裸露的部分在很大程度上仍然完好無損,形成了一種可以沈積所需金屬化的模式。該抗蝕劑還可以在蝕刻過程中保護基板表面。DAINIPPON 629光刻系統主要用於微電子和光電器件的制造.也可用於光掩模制作、集成電路制造以及其他高分辨率光刻工藝。該單元還能處理低、高幾何形狀,可用於各種類型的基板。629光刻機是器件制造的有力工具,在光刻工藝中提供優異的性能。其耐用性、對非導電基板的出色附著力以及對高溫和輻射的抵抗力,使其成為光刻密集型工藝的合適選擇。
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