二手 DNS / DAINIPPON 629 #9285138 待售

DNS/DAINIPPON 629是一款由DNS Screen開發的正作用、高分辨率的光刻膠設備。這種光活性抗蝕劑是基於一種傳統的novolac樹脂。該系統廣泛應用於半導體過程中，如陣列高長寬比接觸孔、溝槽、通氣；為ULSI創建千兆位密度特征；並通過孔形成微孔，以制造封裝基板。該機器有兩種選擇的極性溶劑，如乙酸丙二醇單甲醚（PGMEA）和丙二醇單甲醚（PGME）。該工具還提供了廣泛的輻射照射，包括深紫外線（DUV）、ArF激光、i-line、G-line、i-line掩蔽，具有高分辨率能力和均勻收縮。它具有高靈敏度，易於曝光，產生均勻的線條和空間（L/S）結構，並表現出優秀的薄膜性能，如附著力和線條邊緣粗糙度（LER）。在CMP過程中,這種抗蝕性資產還具有最小的抗蝕性,使其成為多層接觸孔、溝槽和通過過程的理想選擇。抗蝕劑模型改進後的堿性顯影劑使蝕刻工藝更加有效。DNS 629光刻膜具有良好的濕蝕刻性能，可實現高長寬比接觸孔（HAR）。還可以開發這種抗蝕膜，以獲得較清潔的側壁剖面，具有較小的角度交流振幅剖面，即低的底層氧化物水平。該設備還具有良好的熱穩定性，適用於金屬濺射、回流和焊接等高溫工藝。此外，DAINIPPON 629系統在有機溶劑中具有良好的溶解度，在底物表面的凹凸表面或多層表面距離較小的情況下，易於應用，附著力良好。最後，629光致抗蝕劑裝置具有極好的可重復性，被認為對環境安全，符合中芯國際、UMC和IMEC安全標準。總的來說，這種抗蝕機為先進的包裝和半導體工藝應用提供了出色的光刻性能。