二手 DNS / DAINIPPON 80 A / 80 B #9161502 待售

ID: 9161502
Power supply Series track / coater / spinner Track main AC power distribution Supply unit.
DNS/DAINIPPON 80 A/80 B是由DNS Screen Manufacturing Co.Ltd.並用作光刻光刻材料,主要用於制造矽半導體器件。該系統由光刻膠片和顯影劑溶液組成,旨在提供高分辨率、低成本和工藝完整性,以提高光刻性能。光敏膜由有機溶劑中的懸浮液形式的聚合物材料組成,通常是甲醇。它含有陰離子光敏劑、光活性化合物和熱改性酸催化劑。當暴露在光線下,光敏分子重新排列其形態,形成酸性催化分子,進而催化釋放聚合自由基,導致聚合物材料變硬,形成抗拒結構。顯影劑溶液是含堿催化劑和硫醇型水性聚合物材料的稀氨基水溶液。這種溶液充當脫酸劑,中和並溶解光刻膠膜暴露在光線下形成的抗蝕劑結構。這樣可以更精確地控制暴露的光刻膠層。這些組件的組合為光刻工藝提供了一些獨特的優勢。首先,光刻膜中使用的聚合物材料提供高分辨率成像,使得機器能夠用於各種晶圓尺寸和應用。其次,顯影劑溶液高度穩定,傾向於提供長期的過程完整性,對汙染或老化造成的降解的敏感性最小。最後,該工具成本相對較低,使其成為低成本光刻工藝的誘人選擇。總體而言,DNS 80 A/80 B光刻膠資產為各種半導體制造應用提供了高分辨率、低成本和面向工藝完整性的光刻材料。通過其出色的成像和穩定特性,該模型非常適合多種過程,從大型集成芯片到小型集成電路,從內存芯片到邏輯節點設計。
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