二手 DNS / DAINIPPON 80A #293658186 待售
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DNS/DAINIPPON 80A是一種負光刻設備,常用於半導體制造。適用於微光刻、電鍍、印刷應用。光刻膠系統在微電子器件和印刷電路板的生產中起著關鍵作用。光致抗蝕劑系統利用光輻射在基板上創建圖樣。在DNS 80A的情況下,光源通常是氙燈。當光束穿過光掩模並撞擊基板時,將創建一個陣列。根據光致抗蝕劑的類型,有些分子被破壞,有些被保留。DAINIPPON 80A系統由基板上的一層光刻膠組成。抗蝕層隨後暴露於光束中,光束已通過光掩模過濾。該光掩碼包含不透明和清晰區域的圖案。當光通過光掩模時,它會有選擇地分解抵抗分子,在基質上留下一個裸露和未暴露區域的圖樣。一旦抗蝕層暴露出來,就被開發出來。在這個過程中,未暴露的抗蝕劑被用溶劑去除,在抗蝕劑中留下一個模式。然後,此模式可用作進一步過程(如蝕刻或沈積)的模板,也可用於通過創建自對齊的路由。此外,如果需要創建更多的結構,還可以執行進一步的成像步驟。80A抵抗裝置具有很好的分辨率和高的選擇性。另外,它非常穩定,可以在苛刻的工藝條件下使用,例如各向異性蝕刻。再者,它對電磁能的吸收率低,使得它可以在高速裝置處理中使用。總之,DNS/DAINIPPON 80A光刻機是一種可靠、高效的工具.它提供了極好的分辨率和重復性,以及非常高的選擇性,這對於現代半導體制造的生產率至關重要。
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