二手 DNS / DAINIPPON 80A #293760409 待售

DNS/DAINIPPON 80A是一種用於各種集成電路元件的芯片制造過程中的光阻設備。它是一個單一、自成一體的平臺，提供對生產高性能、高產量半導體集成電路的過程至關重要的液晶抵抗化學、曝光光學、曝光後處理步驟。該系統包括一個汞弧燈，為單次或垂直雙次曝光提供高霓虹燈-氙線輸出。真空光學組件包含一個真空積分器，一個可調焦距間隔的可調聚焦冷凝器透鏡，偏振玻璃和虹膜隔膜。光學組件還包含一個「火花」指示指示器，可用於通過磨砂冷凝器透鏡觀察電弧放電。抗蝕劑化學方法采用水基溶液，具有無軟烘烤能力。這允許消除中間的開發步驟,從而提高吞吐量。抗蝕劑化學還具有對溫度、濕度和光線照射影響的主動校正功能。該單元還包含一個曝光後處理或PET模塊，旨在優化機器的性能。該模塊包含紅外能源和等離子體濾波器。等離子體濾波器減少了暴露的抗蝕層的排便，而紅外能量源加速了固化過程，有助於減少發育時間。可以使用其他PET組件根據特定的應用程序要求進一步定制該工具。DNS 80A光刻資產是一種全自動模型，設計用於生產高性能和高產半導體集成電路的光刻設備。它的設計采用了最新的光學和抵抗化學技術，以優化吞吐量和產量，同時提供了一個成功的過程必不可少的靈活性。