二手 DNS / DAINIPPON 80A #293760446 待售

DNS/DAINIPPON 80A是為制造高精度電子產品而設計的光刻設備。該系統使用化學蝕刻工藝將圖樣刻在導電基板上。這一雕刻過程涉及在基板表面上創建一個有圖樣的抗蝕層，該層用作底層導電材料蝕刻的掩模。該單元結合了光反應性和水溶性光刻膠以創建必要的蝕刻圖樣。光反應性光致抗蝕劑是含有發色團的有機聚合物，會吸收特定波長的光，溶於水溶液。光活化的發色團允許光致抗蝕劑在基質表面的均勻沈積。第二種成分，一種水溶性光致抗蝕劑，是一種也能溶於水的聚合物。這被用來形成跨底物的低電阻率各向異性通路。為了啟動該過程，首先在塗有兩種不同類型的光刻膠的光掩模上繪制圖樣。然後將這些光掩模放置在半導體基板上，並暴露在紫外線下。光激活光反應性光致抗蝕劑中的發色團，使其溶於水溶液。然後將暴露的基材浸入水中，光活化的可溶性光致抗蝕劑在基材表面形成圖樣，允許精細的分辨率圖樣。然後通過用化學溶液蝕刻掉圖樣化的抗蝕層來形成暴露的圖樣。這留下了一層下面的導電材料，在基板上形成圖樣。這允許形成具有不同電阻率特性的通路，可用於創建高精度電路。DNS 80A是一種用於制造高精度電子產品的功能強大、用途廣泛的光刻機。其光反應性和水溶性光致抗蝕劑的組合允許在導電材料基板的表面上產生復雜的圖樣。利用這種技術刻畫圖案，可以創建具有不同電阻率模式和特征的高精度電路。該工具在電子工業中非常有用，在電子元件的制造和設計中得到了廣泛的應用。