二手 DNS / DAINIPPON 80A #293814129 待售

DNS / DAINIPPON 80A
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
80A
ID: 293814129
晶圓大小: 6"
Coater, 6".
DNS/DAINIPPON 80A是一種光刻膠設備,用於各種基材的蝕刻和圖樣處理。該系統是一個知名的、廣泛使用的光刻膠單元的增強版本。該機器最適合在非晶矽、多晶矽和單晶矽晶片上形成薄抗蝕劑。它也適用於玻璃和石英等層轉移基板上的圖樣化。該工具由兩部分組成。第一部分是DNS 80A光致抗蝕劑,是一種水溶性、無明膠、高粘度的抗蝕劑。它具有優於基板的附著力,可以在整個基板表面達到均勻的厚度和孔隙度。第二部分是DPS-6202步進器,該步進器具有高圖像校驗精度和1毫秒銳利曝光延遲的狹縫掃描方法。DPS-6202步進器能夠檢測到小至3 µm的明暗圖樣,並在整個基板上提供薄膜均勻性。它還為不同種類的曝光提供了最合適的平衡條件。DAINIPPON 80A光致抗蝕劑和DPS-6202步進器相結合,操作方便,效果優異。基材必須在正確的制樣條件下制備。同樣重要的是選擇正確的蝕刻條件以達到預期的效果。由於光致抗蝕劑具有較高的粘度,因此需要精確的輸送和施用,以防止過度噴塗到基板上。然後,基板根據所需的圖樣暴露在預設功率和波長的紫外線下。最後,曝光後用適當的化學蝕刻劑除去光致抗蝕劑。80A光刻資產是一種高度可靠和通用的蝕刻和圖案基板模型。它擁有廣泛的應用,其優越的附著力,以基板允許優秀和一致的結果。由於曝光延遲短,加上步進器清晰的圖像驗證精度,這種設備是蝕刻和圖樣的高效且經濟實惠的選擇。
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