二手 DNS / DAINIPPON 80A #293830591 待售

DNS/DAINIPPON 80A是一種光刻設備,使用戶能夠在晶片上精確地顯示圖樣。該系統的特點是穩定性高，精度高，附加多功能功能。該單元由一個曝光頭模塊、一個光學機器模塊和一個機械組件模塊組成。曝光頭模組包含兩個獨立對稱對準的眼睛。每只眼睛都具有精確的自動對準能力，分辨率為2um，可重復性為0.1 um。分辨率也可以從0.5um範圍調整到3um。此外，兩個鏡子包括在曝光頭模塊中，以允許光的均勻分布在整個晶圓。光學工具模塊的設計允許有效地將蒙版照射到晶圓上。它利用了一種大直徑的照明光學資產，設計用於與各種透鏡結合使用，如25毫米和50毫米。該模型在晶圓上產生均勻光強度的明場照明。此外，光學設備模塊還配備了一個本地檢流計掃描儀和一個用於一次掃描大面積晶片的旋轉級。機械元件模塊與光學系統模塊配合使用，以精確定位晶圓。它具有晶片精確定位的定位指南和晶片卡盤，以確保其穩定。此外,機械元件模塊還包括一個高度調節功能,用於控制對準頭與晶圓之間的精確距離。DNS 80A光致抗蝕劑單元提供了一種可靠、準確的晶片陣列設計方法。本機因穩定性高、精度高、附加多功能功能，滿足多種不同類型應用的要求。該工具具有先進的特點和功能，非常適合快速、準確地制作各種晶片。