二手 DNS / DAINIPPON 80A #9134994 待售

DNS / DAINIPPON 80A
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
80A
ID: 9134994
晶圓大小: 8"
Photoresist (2) coaters / (2) Developers system, 8" Dual block IFB.
DNS/DAINIPPON 80A是一種先進的光刻設備,旨在提高半導體制造工藝光刻階段的印刷質量。該系統采用光敏液體,應用於矽片等基板表面。當光線暴露於這種液體時,光致抗蝕劑會激活並保持在表面。這種抗蝕劑隨後在光刻過程中用於阻擋表面的某些區域。DNS 80A光敏裝置采用獨特的配方提供卓越的性能.配方的核心是基於聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)的光敏材料,這是一種丙烯酸聚合物,可抵抗包括紫外線在內的多種條件。這種特殊的光刻膠具有出色的光學清晰度、高分辨率、優異的薄膜均勻性和優異的附著性能。此外,該機器還提供了與正負模式系統的高度兼容性。除了光刻成份外,DAINIPPON 80A工具還包括其他幾個元素,旨在提供最佳的光刻工藝。這些組分包括光致抗蝕劑剝離器、稀釋劑、水性顯影劑和顯影劑補充溶液。光致抗蝕劑剝離器用於便於在曝光後從圖樣中去除抗蝕劑,而稀釋劑有助於減少塗層過程中的任何顆粒或霧霾。水溶液顯影劑有助於化學「蝕刻」圖樣到基板上,補給溶液有助於在多個周期內保持制劑的可重復性。總體而言,80A光刻資產是光刻制造過程中實現高分辨率打印的可靠有效方法。利用先進的PMMA光刻膠,該模型提供了卓越的清晰度、均勻性和附著力.此外,其他組件包括稀釋劑、顯影劑和補品解決方案有助於確保圖樣準確打印在基板上。這些特性和組件使DNS/DAINIPPON 80A光刻程序的理想選擇。
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