二手 DNS / DAINIPPON 80A #9162935 待售

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DNS / DAINIPPON 80A
已售出
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
80A
ID: 9162935
晶圓大小: 6"
優質的: 1997
Coater system, 6" 1997 vintage.
DNS/DAINIPPON 80A是一種高性能、超精確的光刻塗層設備,其設計目的是將薄光刻膜精確地沈積在不同的基板上。它是一種利用紅外照射使基板暴露於均勻、穩定且可預測的精確分散的抗性材料的復雜系統。它在現代半導體設計制造中得到了廣泛的應用。單元由三個獨立模塊組成:主外殼、照明源和分配模塊。主殼體單元持有曝光燈、快門和控制機。工具中使用的紅外優化超高強度燈提供了均勻穩定的連續光源,並以受控強度將光傳遞到基板上。該快門設計用於自動和手動模式,並確保在塗層過程中穩定和可靠的照明應用。先進的電動控制裝置負責使光刻膠暴露於基板上所需的敏感定時元件。照明源模塊是DNS 80A資產的核心.它由一個電子光源組成,可以以設定的強度水平將光傳遞到基板。該模型包括一系列可調節的燈、濾鏡和透鏡陣列,用於改變基板上光源的入射角和位置。該模塊還配備了溫度控制設備,可以將源保持在最佳溫度,以獲得一致的結果。最後,使用分配模塊將光敏材料精確、均勻地輸送到基板上。這是通過一個精確的噴塗過程來完成的,該過程由一系列可機械調節的噴嘴頭調節,允許在順序層中應用多個光致抗蝕劑層。該系統還具有先進的電子監控和反饋回路單元,以確保光刻膠層的準確應用。總之,DAINIPPON 80A是一種精密可靠的光刻塗層機,具有優異的光刻精度和均勻的沈積性能。通過結合先進的特性,例如精確的光源和電子控制系統,這種工具能夠在基板上提供一致和可靠的光阻塗層。我們正在使用最新技術來確保我們的客戶能夠使用卓越的光刻系統。
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