二手 DNS / DAINIPPON 80A #9162939 待售

DNS/DAINIPPON 80A是為生產半導體基板中的電子元件而設計的高質量光刻膠設備。抗蝕劑體系基於傳統的負型光抗蝕劑工藝，以化學放大的novolak樹脂為基層。它具有850 mJ/cm2的靈敏度，提供出色的圖像描繪和高度的可重復性。它適用於從亞微米到超大規模集成電路制造的各種工藝。該過程從樹脂在基板上的旋轉塗層開始，然後是預烤和曝光後烘烤。預烤可以讓殘留的水從抗蝕劑膜中蒸發，在抗蝕劑層暴露於照相面膜之前。曝光後烘烤時，抗蝕膜在高於預烤溫度的溫度下烘烤，使抗蝕膜硬化致密。曝光後烘烤保證了良好的圖像保真度，因為固化聚合物層的平面偏差小於0.5%。可獲得的最小特征尺寸為0.6 µm，適合生產晶體管、電容器和其他小型化電子元件。而且，光致抗蝕劑含有A-TSQ，有助於降低堿滲透的影響。然後在碳酸鈉和氫氧化銨的溶液中顯影。然後通過幹蝕刻工藝將產生的抗蝕劑圖樣轉移到基材上。該工藝結合了高圖像保真度和低幹蝕刻偏差，在蝕刻不同材料時達到了極好的選擇性。除了通用功能外，DNS 80A還適合離子植入和先進的模式結構。抗蝕劑具有較低的k因數和良好的聚焦深度，在先進的成型過程中表現良好。它支持高性能性能和低產量損失,使其成為各種半導體生產過程的理想選擇。該機也非常可靠，允許生產高質量、可靠的微電子元件。近十年來它一直被用於生產過程中，在這段時間裏它的性能一直是一致的。它能夠在大小晶片上產生可重復和可靠的半導體元件，因此非常適合各種應用。