二手 DNS / DAINIPPON 80A #9162941 待售

DNS/DAINIPPON 80A是為開發薄膜光刻塗層而設計的最先進的光刻設備。該系統經過專門設計，為包括MEMS/MOEMS、光刻、微電子和光學塗層在內的廣泛應用提供一致和可重現的性能。該裝置由一個全功能的光敏噴霧室和多個精確蒸發站組成，用於均勻和一致的薄膜光敏塗層。噴霧室設計用於控制反應環境的溫度和濕度，並提供光敏材料的均勻分布。它還具有真空互鎖功能，以確保適當的沈積參數。多個PESs提供精確的層沈積控制，允許精確微調薄膜光刻層厚度。DNS 80A儀器還包括一臺先進的流體和氣體控制機，其設計目的是為工具中多達七個反應堆提供精確的氣流和壓力控制。這一資產的設計允許精確控制反應速率和采用超高純度工藝構建的層沈積參數。除了噴霧室和PES之外，DAINIPPON 80A還包括一個精密制作的烘焙瓶，用於薄膜層的均勻加熱。烤箱的設計是單獨控制每一層的溫度，確保均勻的烘烤輪廓和防止因熱而損失。這也保證了沈積的薄膜抗蝕劑均勻一致。80A還包括一種先進的計算機控制器模型，它使用戶能夠設置和監視統一光刻膠應用所需的各種條件。此外,基於微處理器的控制器允許實時調整諸如噴嘴壓力、塗層速度、層厚度和溫度等參數。這使用戶能夠快速適應不斷變化的條件並優化其生產過程。總體而言,DNS/DAINIPPON 80A是一種功能強大且可靠的薄膜光刻設備,可為各種應用提供一致且可重現的性能。通過結合先進的光刻塗層、烘焙和計算機控制器系統，DNS 80A能夠為極其廣泛的應用過程提供精密的層沈積控制。