二手 DNS / DAINIPPON 80A #9162943 待售

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DNS / DAINIPPON 80A
已售出
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
80A
ID: 9162943
晶圓大小: 6"
優質的: 1997
Developer system, 6" 1997 vintage.
DNS/DAINIPPON 80A是為創造微處理器、半導體、芯片和其他電子元件而開發的光阻設備。它是一種結合了光刻和軌跡蝕刻過程的工具。光刻是通過將感光材料暴露在基板上而產生主圖樣的過程。主圖樣中的紫外線輻射成分被光掩模選擇性阻擋,這使得光只能通過預定區域。這一過程確保了極精確的高細節圖案,這對於創建小型薄膜結構非常重要。然後使用軌跡蝕刻工藝在光致抗蝕劑層中創建精細結構。裸露層在光刻膠顯影劑中顯影,溶解並擦去所需圖樣中的光刻膠,留下殘餘的結構。DNS 80A系統還提供高度自動化的生產線。這使得能夠使用ArF (Arg-Fluoride) KrF (Krypto-Fluoride)激光源在大面積上進行大規模和精確的光控處理。DAINIPPON 80A單元提供了具有高蝕刻選擇性的更穩定的抗蝕性過程,並且可以產生具有清晰線寬特征的模式。這臺機器不僅提高了性能,還減少了制造半導體或微結構產品所需的時間。而且,該工具非常適合於最小線寬小於0.1 μ m的高度精確的陣列,並滿足對更高復雜結構的日益增長的需求。80A光敏資產以其高精度和可靠性而在半導體工業中得到廣泛應用。憑借其高端特點和各種抗拒開發過程,這種模式一定能滿足半導體行業的需求。
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