二手 DNS / DAINIPPON 80A #9162944 待售

DNS/DAINIPPON 80A是專門設計用於半導體器件制造的先進幹膜光刻設備。該系統采用了一種PVC基板，該基板已預先塗上了一層薄薄的抗蝕劑，隨後進行了固化。這種固化的抗蝕層對紫外線或電子束輻射都敏感，並作為光刻的有效掩模。與其他類似系統相比,該層的電阻可以根據特定的客戶需求輕松定制,並提供卓越的線緣粗糙度。它還可以實現在薄膜圖樣上的高分辨率成像,在幹膜抵抗應用過程中具有顯著優勢。應用抗蝕劑的方法也相對簡單，因為它可以在紙張中獲得，從而最大限度地減少了光刻之前所需的過程。而且，該單元消除了由於使用溶劑基光致抗蝕劑而引起的任何潛在問題，如抗霧和邊緣串珠，這可能導致最終半導體器件因暴露不良而質量下降。此外，這種材料的應用導致與傳統溶劑相比蝕刻速度顯著加快。這導致了對蝕刻速率的更大控制，允許生產優越的設備。該機器還得到氟矽烷載體的一些特性的輔助，氟矽烷載體被用作抗蝕劑的載體溶劑。氟矽烷載體與抗蝕劑分子相互作用，降低了它們的剛性，增加了附著力，同時也作為阻擋反應離子蝕刻攻擊的屏障。當處理具有高度復雜模式的結構時,此特征尤其理想。該工具還具有一些優異的耐熱性能，適合高溫環境使用。此外，它還具有作為最經濟的幹膜系統之一的優勢，使其成為多種類型的半導體器件制造的可行選擇。綜上所述,DNS 80A具有優異的線緣粗糙度、更高的分辨率和蝕刻速率控制特性,是制造半導體器件的理想之選。模型中的氟矽烷載體提供了更高的附著力和對反應性離子蝕刻的抵抗力，而其增強的耐熱性使其適合高溫環境。此外，其經濟的價格使得它成為許多設備制造的一個有吸引力的選擇。